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霍尔效应测试仪 ITO 薄膜测试案例
ITO 薄膜是一种 n 型半导体材料, 具有高的导电率, 高的可见光透过率, 高的机械硬度和良好的化学稳定性. 它是液晶显示器 ( LCD ), 等离子显示器 ( PDP ), 电致发光显示器 ( EL / OLED ), 触摸屏 ( TouchPanel ), 太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料.
上海伯东某科研客户霍尔效应测试案例一
对 ITO 薄膜样品进行载流子浓度, 类型, 霍尔迁移率, 方块电阻检测, 主要是想看电阻值是否彼此相容, IV 曲线是否是线性的及样本是否是欧姆的, 统一的, 均匀的等方面.
样品: ITO 氧化铟锡, 标记为 ITO1, ITO2, ITO3
样品薄膜厚度: 60 - 100 nm
样品尺寸: 10 * 10 mm
实验仪器: 上海伯东英国 NanoMagnetics ezHEMS 霍尔效应测试仪
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电阻率: 10-4 至 109 Ω-cm ( 样本依赖 ) |
测试温度和磁场温度: 300K RT 1 Tesla
* 在测试开始前, 仪器均经过标准样品校验. 所有样品根据 ASTM 标准.
样品 ITO1 测试结果:
I-V 测量结果
VdP 测量结果
测量头类型: RT Head; 磁场: 9677G; 厚度: 80nm
上海伯东霍尔效应测试仪 ezHEMS 完美解决客户测试需求方案
部分测试结论:
1. 得到的电阻值彼此相容.
2. 所有的IV 曲线都是线性的
3. 所有样本都是欧姆的,统一的,均匀的.
4. Van der Pauw 测试为了保证准确性, 测试了2次, 测试结果是相同的.
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